Заполните форму

Менеджер свяжется с Вами в течение 5 минут

Сухие винтовые вакуумные насосы COBRA Semicon

Диапазон характеристик для сухих винтовых вакуумных насосов COBRA Semicon

Предельное остаточное давление: 0,001 - 0,03 мБар
Номинальная производительность: 70 - 7400 м3/час

Общее описание:

COBRA Semicon — это эффективные безмасляные винтовые вакуумные насосы, предназначенные для использования в таких сложных процессах, как полупроводники, солнечные модули и производство плоских экранов, многочисленные промышленные области нанесения покрытия и другие. На винтовых вакуумных насосах COBRA Semicon установлены высокоэффективные энергосберегающие электродвигатели. Насосы имеют простую конструкцию винтовой технологии, на некоторые модули установлен дополнительный насос Рутса прямо на фланец, что делает вакуумные насосы COBRA Semicon высокопроизводительными и надежными, не требующими частого технического обслуживания. Широкий диапазон моделей и типоразмеров винтовых вакуумных насосов COBRA Semicon делает их идеально подходящими для любого процесса. Компактная конструкция делает возможность их установки даже в ограниченном пространстве. COBRA Semicon имеют самую высокую скорость откачки (даже для водорода) в своем классе и надежность при перекачке газов с содержанием частиц.

Принцип действия:

В корпусе сухих винтовых вакуумных насосов COBRA Semicon установлены два винтовых ротора, которые вращаются в противоположных направлениях. Рабочий газ задерживается между корпусом и винтовыми камерами. Там он сжимается и выталкивается к выходу. Во время этого процесса винтовые роторы не контактируют друг с другом или с корпусом.

Свяжитесь с нами для получения информации Запросить

Сухие винтовые вакуумные насосы COBRA DS

Новое поколение сухих вакуумных насосов для сложных процессов

Насосы COBRA DS - это безмасляные винтовые вакуумные насосы с высокой скоростью откачки (даже для водорода).  Это линейка в основном предназначена для процессов производства фотоэлементов, плоских экранов и полупроводников. Применение новейших технологий в винтовых вакуумных насосах COBRA DS, позволяет применять их для удаления сред с содержанием порошка и твердых частиц. Технология сухого сжатия со специальным профилем делает эти насосы эффективными и надежными при работе с различными типами паров и частиц.  Цельнолитые винты предотвращают попадание внутрь технологических жидкостей и частиц, препятствуя коррозии. Минимальные требования к техническому обслуживанию, низкие эксплуатационные расходы, высокие показатели безотказной работы, длительный срок службы – новый стандарт в области винтовых вакуумных насосов. Модернизация действующих систем за счет установки этих винтовых вакуумных насосов и их последующая интеграция выполняется быстро и просто благодаря их конструкции «установи и работай». В вакуумных насосах COBRA DS применяется косвенное водяное охлаждение, что обеспечивает равномерное распределение температуры по всему корпусу насоса.

Сухие винтовые вакуумные насосы COBRA BA

Газонепроницаемая система с воздушным охлаждением

COBRA BA – надежные сухие винтовые вакуумные насосы для создания вакуума в загрузочных шлюзах и других сложных процессах при производстве фотоэлементов, плоских экранов и полупроводников. Насосы имеют воздушное охлаждение и высокую скорость откачки, благодаря чему идеально подходят для любых целей, где требуется эффективное, быстрое и надежное создание вакуума. Технология сухого сжатия со специальным профилем делает эти насосы эффективными и надежными при работе с различными типами паров и частиц.  В насосах COBRA BA установлен высокоэффективный электродвигатель, который может переключаться в режим ожидания, тем самым обеспечивая оптимальное энергосбережение. COBRA BA имеет компактные размеры и требует очень мало места для установки.

Сухие винтовые вакуумные насосы COBRA BC

Газонепроницаемая система с водяным охлаждением

Вакуумные насосы COBRA BC - идеальное решение для загрузочных шлюзов и транспортировочных камер, а также для других процессов в метрологии, литографии, вакуумном напылении (PVD), быстром термальном отжиге (RTA) и травлении кремния. Конструкция асимметричных и самобалансирующихся винтов задают новые стандарты эффективности и обеспечивают высочайшие эксплуатационные характеристики и высокую работоспособность. Вакуумные насосы COBRA BC имеют конструкцию в форме консоли колоколообразной формы сдвоенный ротор с винтами с переменным шагом, который устанавливается только со стороны электродвигателя. Уникальная конструкция «парящего подшипника» исключает необходимость установки подшипников на стороне впуска. Таким образом, перекачиваемая среда не контактирует с подшипниками. Это обеспечивает создание чистого вакуума и и полную рекуперацию перекачиваемых газов. В вакуумных насосах COBRA BC применяется прямое водяное охлаждение, что обеспечивает равномерное распределение температуры по всему корпусу насоса. Полностью открытый протокол связи (Modbus TCP-IP) позволяет контролировать все функции: режимы холостого хода и частотно-регулируемый привод. Протокол передачи данных можно легко адаптировать под конкретный сетевой протокол с помощью стандартного интерфейса. Вакуумные насосы серии COBRA BC доступны в исполнении Premium Efficiency. Эти насосы производятся с использованием новейшей технологии Busch VacBoost. Возможно снижение потребления электроэнергии на 40 % по сравнению с традиционными вакуумными генераторами.

Сухие винтовые вакуумные насосы COBRA Semicon находят свое применение в:

  • Химическое осаждение из паровой фазы плазмы высокой плотности (HDP-CVD).
  • Быстрая термическая обработка (RTP)
  • Быстрый термальный отжиг (RTA)
  • Химическое осаждение из газообразной фазы под атмосферой (SACVD)
  • Химическое осаждение металлоорганических соединений из газообразной фазы (MOCVD)
  • Плазмохимическое осаждение из газообразной фазы (PECVD)
  • Химическое осаждение из газообразной фазы при давлении ниже атмосферного (LPCVD)
  • Атомно-слоевое осаждение (ALD)
  • Высокопроизводительные загрузочные шлюзы
  • Процессы нанесения покрытий с использованием раствора PGMEA
  • Вакуумное напыление (PVD)
  • Травление кремния