Сухие винтовые вакуумные насосы BUSCH COBRA Semicon

Насосы BUSCH COBRA DS - это безмасляные винтовые вакуумные насосы с высокой скоростью откачки (даже для водорода).  Это линейка в основном предназначена для процессов производства фотоэлементов, плоских экранов и полупроводников. Применение новейших технологий в винтовых вакуумных насосах COBRA DS, позволяет применять их для удаления сред с содержанием порошка и твердых частиц. Технология сухого сжатия со специальным профилем делает эти насосы эффективными и надежными при работе с различными типами паров и частиц.  Цельнолитые винты предотвращают попадание внутрь технологических жидкостей и частиц, препятствуя коррозии. Минимальные требования к техническому обслуживанию, низкие эксплуатационные расходы, высокие показатели безотказной работы, длительный срок службы – новый стандарт в области винтовых вакуумных насосов. Модернизация действующих систем за счет установки этих винтовых вакуумных насосов и их последующая интеграция выполняется быстро и просто благодаря их конструкции «установи и работай». В вакуумных насосах COBRA DS применяется косвенное водяное охлаждение, что обеспечивает равномерное распределение температуры по всему корпусу насоса.

BUSCH COBRA BA – надежные сухие винтовые вакуумные насосы для создания вакуума в загрузочных шлюзах и других сложных процессах при производстве фотоэлементов, плоских экранов и полупроводников. Насосы имеют воздушное охлаждение и высокую скорость откачки, благодаря чему идеально подходят для любых целей, где требуется эффективное, быстрое и надежное создание вакуума. Технология сухого сжатия со специальным профилем делает эти насосы эффективными и надежными при работе с различными типами паров и частиц.  В насосах COBRA BA установлен высокоэффективный электродвигатель, который может переключаться в режим ожидания, тем самым обеспечивая оптимальное энергосбережение. BUSCH COBRA BA имеет компактные размеры и требует очень мало места для установки.

Вакуумные насосы BUSCH COBRA BC - идеальное решение для загрузочных шлюзов и транспортировочных камер, а также для других процессов в метрологии, литографии, вакуумном напылении (PVD), быстром термальном отжиге (RTA) и травлении кремния. Конструкция асимметричных и самобалансирующихся винтов задают новые стандарты эффективности и обеспечивают высочайшие эксплуатационные характеристики и высокую работоспособность. Вакуумные насосы COBRA BC имеют конструкцию в форме консоли колоколообразной формы сдвоенный ротор с винтами с переменным шагом, который устанавливается только со стороны электродвигателя. Уникальная конструкция «парящего подшипника» исключает необходимость установки подшипников на стороне впуска. Таким образом, перекачиваемая среда не контактирует с подшипниками. Это обеспечивает создание чистого вакуума и и полную рекуперацию перекачиваемых газов. В вакуумных насосах COBRA BC применяется прямое водяное охлаждение, что обеспечивает равномерное распределение температуры по всему корпусу насоса. Полностью открытый протокол связи (Modbus TCP-IP) позволяет контролировать все функции: режимы холостого хода и частотно-регулируемый привод. Протокол передачи данных можно легко адаптировать под конкретный сетевой протокол с помощью стандартного интерфейса. Вакуумные насосы серии COBRA BC доступны в исполнении Premium Efficiency. Эти насосы производятся с использованием новейшей технологии Busch VacBoost. Возможно снижение потребления электроэнергии на 40 % по сравнению с традиционными вакуумными генераторами.