COBRA DS 0600 E относится к серии безмасляных винтовых вакуумных насосов COBRA Semicon
COBRA DS 0600 E разработан для обеспечения высокой скорости перекачки, в том числе для перекачки водорода. За счет технологии сухого сжатия и особого профиля винтов достигается высококачественная совместимость различных частиц и испарений. Серия COBRA DS работает за счет двух винтовых роторов внутри цилиндра, вращающихся в противоположные относительно друг друга стороны. Поступающий газ попадает в пространство между цилиндром и винтовыми камерами, где обеспечивается его сжатие, а далее перекачивается в выходной канал для отвода. Особенностью данной серии является то, что оба ротора во время рабочего процесса не соприкасаются ни между собой, ни с цилиндром, что позволяет не использовать рабочие жидкости и прочие подобные материалы. Насос COBRA DS 0600 E снабжен водяным охлаждением непрямого типа для поддержания регулируемой температуры во всем корпусе насоса. Применим в таких отраслях как химическое осаждение из паровой фазы плазмы, осаждение атомных слоев, быстрая термическая обработка и прочее
